การผลิตเวฟไกด์โลหะ RF ที่ดีเชื่อมโยง วัสดุ รูปทรง รอยต่อ ผิวและการตรวจรับ กระบวนการขึ้นกับหน้าตัด ความถี่ ความยาว จำนวนและสภาพแวดล้อม ไม่ใช่ท่อไมโครเวฟทุกแบบต้องผลิตด้วยลิโทกราฟีซิลิคอนระดับนาโนเมตร
1. กำหนดงานกับวัสดุ
ระบุแบนด์ โหมด loss reflection กำลังและสภาพแวดล้อมก่อนเลือกวิธีผลิต ขนาดภายในที่มีผลทางไฟฟ้ากับจุดอ้างอิงประกอบต้องมี tolerance ที่เหมาะกับแต่ละหน้าที่
อะลูมิเนียม ทองแดงและโลหะผสมแลกเปลี่ยนระหว่างความนำไฟฟ้า มวล การกลึง การต่อและการกัดกร่อน ข้อมูลโลหะบริสุทธิ์ไม่ใช่ผลของโลหะผสมหรือผิวเคลือบทุกตัว
เวฟไกด์แสงแบบอินทิเกรตซิลิคอนไนไตรด์ใช้วัสดุและวิธีต่างออกไป PECVD หรือนาโนอิมพรินท์จึงไม่ใช่ข้อกำหนดทั่วไปของท่อ WR โลหะ
2. เลือกเส้นทางผลิตที่ทำได้จริง
CNC ช่วยควบคุมโพรงและหน้าแปลน การแยกชิ้นเพื่อเข้าถึงภายในทำให้ต้องเลือกและตรวจตำแหน่งรอยต่อ การอัดรีดหรือดึงอาจเหมาะกับหน้าตัดคงที่ โดยต้องควบคุมความตรงและขนาดสุดท้าย
Electroforming การหล่อและการผลิตแบบเติมเนื้อมีงานที่เหมาะเฉพาะ เปรียบเทียบการเข้าถึงภายใน การถอดฐานพิมพ์ รูพรุน ความหยาบและขั้นหลัง ไม่ใช่ทุกวิธีให้ความนำไฟฟ้ากับผิวเหมือนกันทันที
เลือกตามปริมาณจริงและความสามารถตรวจคุณลักษณะสำคัญ เครื่องจักรหรือซอฟต์แวร์ราคาแพงอย่างเดียวไม่พิสูจน์ผลผลิตตามแบบ
3. คุมขนาดตามความไวของ RF
ท่อสี่เหลี่ยมมีอากาศให้ fc,TE10 = c/(2a) เมื่อ a เปลี่ยนน้อยและสม่ำเสมอ Δfc/fc ≈ −Δa/a สูตรเชื่อมความกว้างกับคัตออฟ แต่ไม่ได้กำหนด tolerance ด้าน reflection ทั้งหมด
WR-90 ที่ a = 22.86 mm มีคัตออฟประมาณ 6.56 GHz เพิ่ม a 0.01 mm จะลดคัตออฟประมาณ 2.87 MHz ในแบบประมาณเชิงอนุพันธ์ ข้องอ หน้าต่างและรอยต่อยังต้องวิเคราะห์เฉพาะ
ตรวจครีบ ขั้น ความราบและฐานอ้างอิง AOI ไม่ได้เห็นทุกส่วนภายในหรือรับรอง yield 99.8% กับทุกสินค้า
4. เตรียมและตรวจรอยต่อ
การเชื่อมประสาน การเชื่อมหลอมและการประกบกลเลือกตามวัสดุและโครงสร้าง อุณหภูมิ ฟิกซ์เจอร์และลำดับอาจทำให้บิดหรือเคลื่อนแนว
ระบุการเตรียม สารเติมและการทำความสะอาดที่เข้ากัน ไม่เติมอีพ็อกซีนำไฟฟ้าในทุกจุดเป็นวิธีแก้ทั่วไป หากต้องซีลแก๊สให้ตรวจแยกจาก continuity
ในชิ้นงานแยกประกบ ระนาบรอยต่อเทียบกับกระแส RF สำคัญ รอยที่ดูปิดอาจตอบสนองต่างเมื่อสั่นหรือเปลี่ยนอุณหภูมิ
5. ทำผิวโดยคงรูปออกแบบ
ความหยาบ ชั้นรอง ความหนาและความต่อเนื่องมีผลต่อ loss การชุบยังเปลี่ยนช่องภายใน จึงต้องตรวจขนาดหลังทำผิว ไม่ใช่เพียงชิ้นงานก่อนชุบ
สำหรับทองแดง σ = 58 MS/m ความลึกผิวในแบบอุดมคติที่ 10 GHz ประมาณ 0.661 µm นี่ไม่ใช่เกณฑ์ความหนาทองหรือความหยาบสำหรับทุกชิ้น การยึดเกาะ กัดกร่อนและการจับถือก็เกี่ยวข้อง
บันทึกกระบวนการกับสภาพผิว การขัดอาจเอาชั้นที่มีประโยชน์ออกหรือเปลี่ยนขอบ การมองด้วยตาไม่วัดความนำไฟฟ้า RF ทั้งหมด
6. ตรวจรับที่ติดตามย้อนกลับได้
- วัสดุ: ชนิดโลหะผสมกับล็อต
- รูปทรง: มิติสุดท้ายและฐานของแบบ
- กระบวนการ: รอยต่อ การรักษาผิวและชั้นเคลือบ
- RF: reflection กับ transmission ที่คาลิเบรตตลอดแบนด์
- งานใช้: กำลัง อุณหภูมิและความแน่นที่ต้องการ
ตรวจการต่อซ้ำและระนาบอ้างอิง VNA กำลังต่ำไม่ยืนยันกำลังสูงทุกเงื่อนไข เก็บข้อมูลเพื่อเทียบล็อตและการเปลี่ยนผู้ผลิต
สมการการแพร่กับความสูญเสียเวฟไกด์ช่วยเชื่อมรูปกับ RF แต่ไม่แทนแบบผลิตและกระบวนการที่ผ่านการตรวจสำหรับชิ้นส่วนจริง
