金属導波管の清掃は、汚れと損傷の区別、材料適合性、残留物管理と保守後の検証が基本です。すべての製品に99.9% IPA、80～100 psiの吹付けや保護膜塗布を行う方法は適切ではありません。
1．停止状態と構成を確認
RF源と関連電源を指定の保守状態にし、加圧系は手順に従って減圧します。開放前に部品の向き、接続と状態を記録します。
内壁、めっき、窓、接着剤、シールと可とう部の材料を確認します。単純な金属直管と窓付き密封ユニットでは、使える洗浄方法が異なります。
2．観察して原因を分類
照明、拡大鏡、必要なら寸法に適した内視鏡を使い、粒子、油膜、腐食、傷と変形を区別します。器具の先端で表面や窓を傷つけないようにします。
変色がすべて除去すべき汚れとは限りません。浮いためっきや深い腐食は洗浄だけでは修復できません。共通の0.25 mm孔食基準を全周波数へ適用しないでください。
温度上昇やS21低下だけで汚れを確定できません。接続、反射、材料損失と測定条件も候補です。
3．緩い粒子を取り除く
製品で許された方法を選びます。気体を使う場合は清浄度、油分、水分、圧力と流量を管理し、窓や内部部品に強い噴流を当てません。
作業用コンプレッサーを無処理で接続すると油や水を持ち込む場合があります。高圧ほど必ずよく清掃できるとは限らず、すべてを80～100 psiで吹く手順にはしません。
粒子を別の狭い部分へ押し込むことや、清掃具の繊維を残すことも避けます。見える場所だけをきれいにした結果と全内面の清浄度は別です。
4．適合する洗浄剤を使う
リントの少ないワイプと指定の洗浄剤を選びます。IPAは油分などに使える場合がありますが、すべての酸化物を溶かす薬品ではありません。70%と99%の選択も水分、材質と工程によります。
アセトンは塩素系溶剤ではありません。ただし、その分類が正しいことと、樹脂・接着剤・塗装へ使えることは別です。材料適合性を確認せずに使用しません。
酸による浸漬、超音波、研磨や内面の追加コーティングは通常の拭き取りと異なる工程です。指定のない5%クエン酸処理や5～10 μmの誘電体膜塗布は行わず、腐食修復は適切な再加工手順で扱います。
5．残留物と乾燥を確認
洗浄工程で必要なすすぎと乾燥を行います。継ぎ目、窓周辺とくぼみに液体が残らないか確認します。指定のない加熱や一律15～20 psiの窒素パージで代用しません。
表面を目視し、粒子、繊維、膜と新しい傷を記録します。重量差だけでは汚れの除去量と材料・めっきの脱落を確実に区別できません。
清浄なキャップと適切な保管環境で再汚染を防ぎます。窒素環境の相対湿度40%や縦置きが、全製品の唯一の保管条件ではありません。
6．再組立てとRF検証
接合面、シール、締結順序とトルクを指定どおりに戻します。部品を無理に引き寄せて位置を合わせないでください。
同じ基準面と帯域で、反射と伝送を保守前または正常時の記録と比較します。VNAの校正、接続再現性と不確かさを含めます。VSWR 1.25以下という一律基準ではなく、その製品の受入条件を使います。
必要な気密、外部RF漏れと高電力試験は別に実施します。低電力の良好なS11はすべての運転条件の証明ではありません。
記録と再発防止
| 記録 | 内容 |
|---|---|
| 初期状態 | 写真、症状と材料。 |
| 工程 | 薬剤、用品と適用手順。 |
| 結果 | 残留物、傷とRF測定。 |
| 原因 | 侵入経路、保管と組立て。 |
フランジからの混入や水分侵入が続けば、清掃だけでは再発を止められません。フランジの構造とSパラメーターを理解し、実際の工程はメーカーの保守文書に従います。
